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电子行业对无尘车间具体有哪些要求:附案例

时间:2022-01-07 18:11:08 阅读:

电子工厂生产工类众多,有集成电路生产(分为光掩膜、前道工序、后道工序),便携显示器生产(分为LCD,PDP,TFT,VFD,显像管),硅材料 生产(单晶硅、多晶硅),光纤生产,制造业,表面贴装(SMT),分离器件生产(功率一、二、三级管,电容、电阻),整机组装生产(机顶盒、数字投影仪、电子数码相机),自控元器件生产(传感器、执行机构)等。

电子行业对无尘车间具体有哪些要求:附案例

电子行业对无尘车间具体有哪些要求:附案例

电子行业对无尘车间具体有哪些要求:附案例

由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高得很高,低得很低;对粒子粒径控制的要求也不同,范围约为0.1~5um;对温湿度控制的要求相对较 高,如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃(精度±0.1~±1℃),相对湿度基数为40%(精度±2~±5℃;正压值要求的梯度级别,随着洁净度的变化而从高到低变化,差值5~10Pa。

电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多,单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷,这是电子行业的特点。

电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多,且量也大,所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一,排放前要做处理,使排风负荷环保要求。

电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求高:

1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

2.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

4.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值;

5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

6.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

十万级电子车间

补充:某电子厂房净化空调系统论述付

一、工程概述本工程位于江苏,厂房为单层钢结构,总建筑面积约14 500 m2。净化空调面积6 880 m2(不含参观走廊及辅助区)。根据工艺要求,洁净区洁净度分别为万级、千级、百级,百级面积270 m2,千级面积5 960 m2,万级面积650 m2。温湿度要求为22 ℃±2 ℃和55%±5%,百级按照面风速0.25 m/s计算风量,千级和万级的换气次数则为80次/h和35次/h。

二、净化空调系统形式

2.1 空调形式选择

整个厂房分为3种净化级别,分别为万级、千级、百级,万级区主要为镀膜机室,千级区有丝印车间、模组/贴膜车间、千级高架区、千级未高架区,百级有镀膜车间、丝网制作房。其中,千级高架区、百级高架区、千级未高架区、百级未高架区均采用MAU+FFU+DC的空调形式,而丝印、模组、贴膜车间等千级区和镀膜机室等万级区则采用AHU+FFU的空调形式。MAU为新风机组,对新风实施了初效、中效、亚高效过滤,其功能段为新风、回风混合段→G4初效段→F8中效段→冷水盘管段→热水盘管段→电极加湿段→风机段→均流段→H10亚高效段→送风段。DC为干表冷盘管,在洁净室的回风夹墙中设置干冷盘管,对洁净室进行等湿降温,所以通过干盘管的冷冻水温度稍低于洁净室的露点温度,保证洁净室空气通过干盘管时不结露。FFU为风机过滤器机组,在洁净室的技术夹层布置FFU,将送进来的空气通过FFU中的高效过滤器送到洁净室内。AHU为净化空调机组,全部的净化空调送风均在净化空调机组内进行净化和热、湿处理,然后送至洁净室,洁净室的回风经回风口、回风管再接回到空调机房的净化空调机组,与新风混合后重复进行净化和热、湿处理。

2.2 两种空调形式的空气处理过程

2.2.1 MAU+FFU+DC的净化空调送风方案:新风机组MAU将新风处理到洁净室热湿比线与相对湿度95%线的交点以下,不仅将本身的湿负荷去掉,还负担洁净室内产生的湿负荷。而MAU热处理不足部分的干冷负荷将由设在洁净室下夹层或吊顶上的干盘管来补充。由于干盘管设在FFU循环空气通过的吊顶上或夹道内,因此,干盘管所弥补的干冷负荷被循环空气带到洁净室内。此方案中,洁净室的相对湿度由MAU来保证,洁净室的温度由DC来保证,洁净室的洁净度由FFU来保证。

2.2.2 AHU+FFU的净化空调送风方案此方案中,净化空调系统的热、湿负荷(洁净室内产生的热、湿负荷及新风的热、湿负荷)全部由设在空调机房内的空调机组AHU来负担。AHU的送风量是消除本系统余热、余湿的空调送风量(其中包括全部新风和部分回风,但远远小于保证洁净室洁净度等级的净化送风量),它应能确保洁净室内的温度和相对湿度恒定。而该洁净室的洁净度由设在洁净室吊顶上的FFU来保证。此方案中应该注意的是,FFU运行过程中所产生的热量也应由AHU来承担。

三、 空调冷热源此次工程为一期工程,根据负荷计算及二期预留,冷源主机采用3台制冷量为1 800 kW、供回水温度为7/12 ℃的水冷螺杆式冷水机组,用于空调机组的夏季制冷及作为干盘管供回水系统中板式换热器的冷源换热端。热源主机为一台制热量为2 400 kW的空气源热泵机组,为空调机组夏季再热和冬季加热所用。要求进入干盘管冷水的进水温度高于洁净室露点温度1~2 ℃,确保其供回水温度为14/19 ℃,因此需要采用水-水板式换热器设计干盘管供回水系统。在热交换器冷源端的冷冻水供回水管道上安装电动二通阀,通过DDC的控制,保证干盘管的供回水温度恒定在设计的范围内。干盘管的冷供水系统采用异程式的方式,洁净室内回风墙中布置有111台干盘管,共分为15组,每一组设置一个电动比例积分阀,根据所对应的范围反馈的洁净室温度来调整比例积分阀的开启度,从而使温度控制满足设计要求。

四、自动控制系统本期工程采用DDC控制系统,并且与机房总站连接,可以实现局部调控和机房总站对运行状态的控制和观测。洁净室中的干冷盘管共分为15组,每一组采用一个比例积分阀控制,每组所对应的区域温度采用多点检测,采集多点的温度,取平均PID值控制比例积分的开启度,调节室内温度。湿度也采用多点检测控制,采集多点的湿度,取平均的PID值来控制新风机组或空调机组冷冻水电动比例积分阀的开启度,或者控制电极加湿阀门的开启度,从而将洁净室的湿度控制在设计范围内。新风机组和空调机组采用变频控制,根据洁净室实际使用情况,通过电动风阀的开与关,检测风管内的压力参数,控制风机转速,调整新风量,达到节约能源的目的。

五、总结随着洁净技术和洁净设备的不断发展与进步,FFU风机的效率不断提高,耗电量不断降低,整体价格不断下降,其初投资也与其他类型的送风方案基本持平,但运行费却大大节省。大面积高净化级别的洁净室宜采用FFU+DC+MAU的空调形式,可以节省空调机房面积,系统控制灵活。末端为FFU的空调系统中新风机组或空调机组的空气过滤宜采用三级过滤,分为初效、中效、亚高效过滤,以延长FFU中高效过滤器的使用寿命。尽量采用将新风处理到室内露点温度的空气处理方式,减少因对室内进行温度补偿而造成的能源浪费。