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电子光学净化车间设计方案是什么

时间:2018-08-02 14:10:06 阅读:

  电子光学净化车间设计方案是什么?电子行业对洁净室的依赖性,通过近几十年的发展,中国洁净室技术的产业链已逐步形成,上游包括空气净化设备的制造、洁净室用各种耗材生产;中游包括与洁净室的设计、建造、调试、测试、运行相关的产业;下游包括各个使用洁净室的行业。并且,随着下游产业在中国的快速发展,以及它们对生产环境的要求日益增高,洁净技术也处于高速发展之中。同样, 洁净室技术的发展是下游产业顺利进行的有力保障。所以,洁净室技术与下游产业是互相促进、互相影响的关系。电子光学净化车间设计方案是什么?

  电子洁净厂房工程其主要特点:1、车间面积大;2、多变性;电子光学行业技术革新快,生产工艺变化,车间平面布局也随之变化,因此在设计净化车间时应注意平面上不宜有固定的分隔,特别是很小的分隔。

电子光学净化车间设计方案是什么

  电子光学净化车间设计需注意事项

  (1)平面由工艺决定,电子净化车间的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性,满足产品生产工艺改造和扩大生产的需求;

  (2)主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不宜采用内墙承重体系;电子光学净化车间设计方案是什么?

  (3)大型电子行业洁净厂房常采用上技术夹层、下技术夹层这种 夹心 式多层构造;

  (4)应考虑大型生产工艺设备的安装、维修要求,设置必要的运输通道和不影响洁净生产环境的安装口或检修口;

  (5)电子净化车间按二级耐火等级设计;

  (6)特种气体的储存和分配间应有耐火隔墙与洁净室(区)分开,该墙耐火极限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物气瓶存区至少三面是敞开的,气瓶与周围构筑物或围栏之间的距离应大于3M,储存区设置的雨篷应不低于3.5M;

  (7)电子净化车间的装饰材料不得采用释放对电子产品有影响物质的材料;

  (8)电子光学洁净室车间允许设空气吹淋室,这是和一般生物洁净室不同的。吹淋室应与洁净工作服更衣室相邻。单人吹淋室按最大班人数为30人一间设计,当工作人员超过5人时,应设旁门,当人数太多或为了缩短通过时间,也可设遂道式吹淋室;

  (9)对于洁净等级高的洁净车间,为了尽可能不影响气流的单向性、平行性,照明灯具采用净化泪珠形灯具;

  (10)电子洁净室车间常要根据生产工艺要求设置防静电环境,以便抑制静电的产生,将已产生的静电迅速、安全的排除;电子光学净化车间设计方案是什么?

  (11)电子洁净室车间有对防微振的特殊要求,在厂地环境上应避开振动源;

  (12)电子净化车间除有一般给排水要求外,对超大规格集成电路的用水也有标准;

  电子光学洁净车间的环境参数

  参 数

  数 值

  说 明

  截面风速/(M/S)

  0.3-0.5电子光学净化车间设计方案是什么?

  0.2-0.4

  洁净度1-3级(ISO)洁净室

  洁净度4-5级(ISO)洁净室

  换气次数/(次/H)

  50-60

  15-25

  10-15

  洁净度6级(ISO)洁净室

  洁净度7级(ISO)洁净室

  洁净度8-9级(ISO)洁净室

  静压差/PA电子光学净化车间设计方案是什么?

  5

  10

  不同等级洁净室之间以及洁净室与非洁净室

  之间洁净室与室外之羊

  温度/。C

  18-22

  16-20

  按具体工程项目要求24-26

  26-28

  按具体工程项目要求

  工艺无要求时的生产环境电子光学净化车间设计方案是什么?

  人员净化及生活用房

  工艺有要求时的生产环境

  工艺无要求时的生产环境

  人员净化及生活用房

  工艺有要求时的生产环境

  相对湿度/%

  冬

  夏电子光学净化车间设计方案是什么?

  30-50

  按具体工程项目要求

  50-70

  按具体工程项目要求

  工艺无要求时的生产环境

  工艺有要求时的生产环境电子光学净化车间设计方案是什么?

  工艺无要求时的生产环境

  工艺有要求时的生产环境

  新风量/[M3/(人.H)

  40

  噪声/DB(A)

  65

  单向流及单向流与非单向流并存的洁净室

  照度/1X

  300-500

  200-300电子光学净化车间设计方案是什么?

  非单向流洁净室主要生产用房(有低照度要求的如光刻、显示器件等除外)

  其他用房

  照度均匀度

  0.7

  静电表面电阻率

  1*105 1*1010

  一级标准为1*105 1*107

  静电体积电阻率

  1*104-1*109

  地面对地的漏泄电阻电子光学净化车间设计方案是什么?

  *105-1*108

  静电压

  50(45%相对湿度)

  4级(ISO)以上洁净室

  振动速度

  振动加速度

  振幅电子光学净化车间设计方案是什么?

  相对位移量

  根据工艺或精密设备、仪器仪表特性确定或参照国标 隔振设计规范

  电磁干扰

  4级(ISO)以上洁净室,当洁净室靠近高压输配电设施时尤为重要

  相关阅读:电子行业对洁净室的依赖性

  在应用洁净室技术的相关行业中,电子行业对洁净及相关受控环境依赖性最大,洁净技术在电子行业应用约占整个洁净行业市场的67%。在我国,电子行业每年花费在洁净室方面的费用约为50亿元,其中,以集成电路芯片生产线为代表的微电子行业每年约30亿元。另外,平板显示(FPD)产业作为支撑我国电子信息产业持续发展的战略性产业,也是洁净室相关供应商的重要用户。据调查,世界上面积最大的洁净室即应用于平板显示行业,一个单体的洁净室厂房面积可容纳32架飞机。电子光学净化车间设计方案是什么?

  洁净技术对我国电子信息产业发展意义重大,因为它与产品的成品率有着直接关系。电子行业对生产环境的要求非常高,特别是对直径小于1微米的颗粒特别敏感,因为它们能引起金属层之间的短路。上海市室内环境净化协会在与电子信息洁净用户交流过程中,洁净室节能、洁净室的化学污染物质的控制、洁净室气流组织、洁净室使用人的培训及洁净室运行管理等问题都是热门话题。

  电子光学净化车间设计方案是什么?目前由于国际上知名大型电子企业纷纷到中国建厂,洁净室需求也随之增加,为其提供洁净技术支持的国际上几个知名的洁净技术公司和工程公司也跟着这些企业移师中国,群雄逐鹿,抢占市场。中国的洁净企业也快速发展,在江苏吴江地区,从事洁净设备、施工、建造的企业已经多达2000多家。而中国在洁净室用手套、抹布和洁净服等产品生产领域已经成为世界上的主要生产国。随着我国工业发展的日益高科技化,产品日益精密化、微型化,对洁净环境的依赖也越来越强,洁净行业在我国存在着巨大的市场空间。